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Triton 40:桌面型多功能等離子設備
文章來源:handler 時間:2018-05-02 03-55-46
應用領域

表面清潔與活化

? 材料表面有機污染物的去處

? 去處納米級金屬氧化層

? 增強表面膠體流動性,消除涂層、塑封料的分層

? 提升表面能,實現難粘材料的有效結合

? 表面粗化與微蝕:消除表面應力,使材料更易結合。

表面粗化及微刻蝕

? 納米級表面粗化,應力釋放。

? 光刻膠去除

? 對多種材料的選擇性刻蝕

設備特點

? 設計緊湊的桌面型等離子工藝平臺,易于與廠務端連接

? 可靠的腔體結構設計,確保工藝腔體具備一流的氣密性與耐用性

? 優秀的進氣、排氣設計,保證工藝過程的均勻性

? 支持多種電極形式與最多4路工藝氣體,適用于處理各種產品并適應多種工藝要求

? 直觀的圖形控制界面,通過觸屏可實時觀察、控制工藝過程

? 13.56MHz射頻電源與自動匹配系統,具有優異的穩定性和可重復性

Triton40 標準技術規格
設備尺寸寬*深*高635W x 860D x 690H mm
腔體尺寸340W x 456D x 280H mm
容積43L
最大電極數量8
電極間距57mm
電極功率電極尺寸226W x 320D mm
接地電極尺寸1300W x 320D mm
射頻系統射頻功率及頻率300W/13.56MHz
氣體控制氣路配置標配兩路 / 最多可擴充至4路氣體
真空泵標準配置25m3/h 油泵
廠務要求供電要求220V, 10A, 50Hz, Single-Phase, 13AWG, 3-Wire
工藝氣體接口及尺寸1/4英寸卡套接口
工藝氣體種類及純度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%;  其余氣體請咨詢JETPLASMA

工藝氣體壓力15~20 psig
吹掃氣體接口及尺寸1/4英寸卡套接口
吹掃氣體種類及純度N2=99.99%
吹掃氣體壓力15-60 psig
氣動用接口及尺寸1/4英寸卡套接口
氣動用氣體及壓力CDA, 60~90 psig
排氣口接口及尺寸KF25
環境溫度5~40℃
相對濕度40~60%
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